為什么半導(dǎo)體行業(yè)的等離子清洗機大多用鋁質(zhì)腔體？

來源：普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2018-11-23 11:17【大中小】

文章導(dǎo)讀：真空等離子清洗機的反應(yīng)腔室常見的材質(zhì)包括石英玻璃、不銹鋼和鋁合金等，不同行業(yè)和應(yīng)用領(lǐng)域的選擇會有所區(qū)別。用于半導(dǎo)體行業(yè)的等離子清洗機大多采用鋁合金，這是為什么呢？

半導(dǎo)體行業(yè)用于清洗、刻蝕的等離子清洗機對真空反應(yīng)腔室的材質(zhì)選擇比較講究，畢竟處理晶圓、支架等產(chǎn)品對工藝環(huán)境的要求很高。普樂斯等離子清洗機選擇鋁質(zhì)腔體大致有以下一些原因：

1、鋁合金密度低，強度高，超過優(yōu)質(zhì)鋼，機械加工性能比較好。
2、鋁具有優(yōu)良的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性和抗蝕性。
3、材料對化學(xué)反應(yīng)的兼容性比較好，不易產(chǎn)生金屬污染、particle等。
4、表面處理方面鋁合金較為豐富，包括電泳、噴涂、陽極氧化等。
5、趨膚深度鋁是不銹鋼的10倍以上，使得電流分布更均勻，腔體不容易發(fā)熱。

以上關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)普樂斯等離子清洗機選用鋁質(zhì)腔體的原因描述清楚了嗎？您有什么異議或更好的補充呢？歡迎大家留言與我們交流和分享。

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