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【普樂斯】真空小型等離子清洗機儀器PM/R-T5LN01-A

品牌：普樂斯

名稱：等離子清洗機

型號：PM/R-T5LN01-A

規(guī)格：W460×D494×H734mm

功率：整機峰值功率2KW

用途：用于不同材料的表面處理、適合于研究所、大學院校、研發(fā)中心使用

訂購熱線：400-816-9009

咨詢熱線：400-816-9009

產品特點

1、觸摸屏操作界面
2、數字及圖標多重工藝參數實時顯示
3、可存儲多套工藝配方
4、自動/手動操作模式切換
5、蜂鳴器+紅色指示燈報警功能

咨詢熱線：400-816-9009

產品參數

型號		PM-T5LN01	PR-T5LN01
控制系統(tǒng)	控制方式	全自動控制（自動/手動切換）
		PLC
	操作系統(tǒng)	Windows 10
	觸摸屏	7寸
整機規(guī)格	尺寸	W460×D494×H734mm
腔體	尺寸	Φ160×D250mm
	材質	316不銹鋼（標配）/鋁合金（可選）
電極	尺寸	W100×D200mm
	層數	1-2層，可選
托架	材質	需定制
	層數	1層
真空計	皮拉尼式真空計	1個
流量計	MFC+浮子流量計	1路MFC，1路浮子流量計；Ar、N₂、O₂（可選）
真空泵	機械油式旋片泵	1套
發(fā)生器	中頻/射頻	40KHz，0~500W	13.56MHz，0~150W
額定功率	整機峰值功率	2KW
機臺供電	單相三線式	AC-220V
選購品	干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H₂安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機、模溫機、非標法蘭、陶瓷緊固件

注：以上參數僅供參考，本公司可能對相關產品參數進行調整，如有變動，恕不再另行通知。若有不明處，歡迎來電詢問。

咨詢熱線：400-816-9009

工作原理

在真空狀態(tài)下，壓力越來越小，分子間間距越來越大，分子間力越來越小，利用高頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的等離子體，然后與有機污染物及微顆粒污染物反應或碰撞形成揮發(fā)性物質，然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質清除出去，從而達到表面清潔、活化等目的。如圖所示：
真空等離子工作原理