等離子體氣相沉積是一種什么工藝，有什么特點(diǎn)呢？
文章導(dǎo)讀：等離子體氣相沉積是一種表面處理工藝，它是應(yīng)用等離子體進(jìn)行反應(yīng)，激活氣體，在基體的表面生成固態(tài)膜的一種技術(shù)，它通過(guò)高能量的電場(chǎng)對(duì)氣體進(jìn)行電離，形成等離子體，等離子體與工藝氣體進(jìn)行反應(yīng)形成膜，貼附在基體的表面。這項(xiàng)工藝分為等離子體物理氣相沉積和等離子體化學(xué)氣相沉積，這兩者有哪些不同呢？
等離子體氣相沉積是一種表面處理工藝，它是應(yīng)用等離子體進(jìn)行反應(yīng)，激活氣體，在基體的表面生成固態(tài)膜的一種技術(shù)，它通過(guò)高能量的電場(chǎng)對(duì)氣體進(jìn)行電離，形成等離子體，等離子體與工藝氣體進(jìn)行反應(yīng)形成膜，貼附在基體的表面。這項(xiàng)工藝分為等離子體物理氣相沉積和等離子體化學(xué)氣相沉積，這兩者有哪些不同呢？
我們從兩者特點(diǎn)、實(shí)質(zhì)、應(yīng)用三個(gè)角度進(jìn)行對(duì)比：
一、特點(diǎn)：
等離子體物理氣相沉積：這種工藝中沉積粒子的能量可調(diào)節(jié)，在等離子體非平衡過(guò)程中，整個(gè)反應(yīng)活性更高，膜層質(zhì)量也更出色。
等離子體化學(xué)氣相沉積：這種工藝中膜的純度高、結(jié)晶狀態(tài)好、致密性好，在反應(yīng)中氣體與反應(yīng)物互相擴(kuò)散，膜的附著力得到了保證，有利于膜的貼合，同時(shí)抗蝕、耐磨、鈍化等效果也出色。
二、實(shí)質(zhì)：
等離子體物理氣相沉積：在反應(yīng)中通過(guò)蒸發(fā)、濺射等物理的方式是鍍膜材料氣化，隨后在基體表面沉積成膜。
等離子體化學(xué)氣相沉積：直接使用氣態(tài)或者蒸發(fā)態(tài)的物質(zhì)在氣相或氣固界面進(jìn)行翻譯，生產(chǎn)固態(tài)的沉積物，結(jié)晶成膜。
三、應(yīng)用：
等離子體物理氣相沉積：這項(xiàng)技術(shù)在工業(yè)應(yīng)用中已經(jīng)廣泛使用，實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化的生產(chǎn)。
等離子體化學(xué)氣相沉積：鍍膜的產(chǎn)品涉及行業(yè)廣泛，實(shí)用性得到了很多行業(yè)的認(rèn)可。
總體來(lái)看，等離子體氣相沉積技術(shù)比起過(guò)去的氣相沉積工藝有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)以及應(yīng)用方式，同時(shí)等離子體的介入會(huì)促使氣體分子的化學(xué)鍵斷裂和重組，生成活性基團(tuán)，還能降低反應(yīng)溫度等等，是原本高溫下的氣相沉積可以在低溫進(jìn)行。
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一、特點(diǎn)：
等離子體物理氣相沉積：這種工藝中沉積粒子的能量可調(diào)節(jié)，在等離子體非平衡過(guò)程中，整個(gè)反應(yīng)活性更高，膜層質(zhì)量也更出色。
等離子體化學(xué)氣相沉積：這種工藝中膜的純度高、結(jié)晶狀態(tài)好、致密性好，在反應(yīng)中氣體與反應(yīng)物互相擴(kuò)散，膜的附著力得到了保證，有利于膜的貼合，同時(shí)抗蝕、耐磨、鈍化等效果也出色。
等離子體物理氣相沉積：在反應(yīng)中通過(guò)蒸發(fā)、濺射等物理的方式是鍍膜材料氣化，隨后在基體表面沉積成膜。
等離子體化學(xué)氣相沉積：直接使用氣態(tài)或者蒸發(fā)態(tài)的物質(zhì)在氣相或氣固界面進(jìn)行翻譯，生產(chǎn)固態(tài)的沉積物，結(jié)晶成膜。
三、應(yīng)用：
等離子體物理氣相沉積：這項(xiàng)技術(shù)在工業(yè)應(yīng)用中已經(jīng)廣泛使用，實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化的生產(chǎn)。
等離子體化學(xué)氣相沉積：鍍膜的產(chǎn)品涉及行業(yè)廣泛，實(shí)用性得到了很多行業(yè)的認(rèn)可。
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