等離子清洗設(shè)備產(chǎn)生的等離子體特性有哪些?
文章導(dǎo)讀:等離子清洗設(shè)備是能夠?qū)崿F(xiàn)等離子清洗、活化、刻蝕、沉積等目的的一種工藝設(shè)備,這與等離子清洗設(shè)備所產(chǎn)生的等離子體有著獨(dú)特的物理特性和化學(xué)特性是密不可分的。
等離子清洗設(shè)備是能夠?qū)崿F(xiàn)等離子清洗、活化、刻蝕、沉積等目的的一種工藝設(shè)備,等離子清洗設(shè)備所產(chǎn)生的等離子體有著獨(dú)特的物理特性和化學(xué)特性。本篇與大家介紹等離子清洗設(shè)備所產(chǎn)生的等離子體特性。
等離子清洗設(shè)備所產(chǎn)生的的等離子體特征主要有以下幾點(diǎn):
1、所產(chǎn)生的等離子體的電子溫度高,粒子動(dòng)能大;
2、具有良好的導(dǎo)電性能。等離子清洗設(shè)備產(chǎn)生的等離子體可以看做為帶電粒子的聚集態(tài);
3、等離子體的化學(xué)性質(zhì)較為活潑,容易發(fā)生化學(xué)反應(yīng),應(yīng)用廣闊,有機(jī)物的去除就是其中一種應(yīng)用方向;
4、具有發(fā)光特性,根據(jù)通入氣體不同,會(huì)呈現(xiàn)不一樣的顏色。
等離子體之所以具有以上特性,是因?yàn)槠鋬?nèi)部電子和氣體分子間的碰撞。我們可以通過(guò)下圖的電子碰撞雙原子分子XY為例來(lái)進(jìn)行了解。如果碰撞的能量小,就會(huì)產(chǎn)生彈性碰撞,電子動(dòng)能幾乎不變。倘若碰撞的能量高,分子中進(jìn)行繞核運(yùn)動(dòng)的低能電子,就會(huì)在碰撞的過(guò)程中獲得較高的能量,被激發(fā)至離核較遠(yuǎn)的高能級(jí)軌道上運(yùn)動(dòng)。
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1、所產(chǎn)生的等離子體的電子溫度高,粒子動(dòng)能大;
2、具有良好的導(dǎo)電性能。等離子清洗設(shè)備產(chǎn)生的等離子體可以看做為帶電粒子的聚集態(tài);
3、等離子體的化學(xué)性質(zhì)較為活潑,容易發(fā)生化學(xué)反應(yīng),應(yīng)用廣闊,有機(jī)物的去除就是其中一種應(yīng)用方向;
4、具有發(fā)光特性,根據(jù)通入氣體不同,會(huì)呈現(xiàn)不一樣的顏色。
等離子體之所以具有以上特性,是因?yàn)槠鋬?nèi)部電子和氣體分子間的碰撞。我們可以通過(guò)下圖的電子碰撞雙原子分子XY為例來(lái)進(jìn)行了解。如果碰撞的能量小,就會(huì)產(chǎn)生彈性碰撞,電子動(dòng)能幾乎不變。倘若碰撞的能量高,分子中進(jìn)行繞核運(yùn)動(dòng)的低能電子,就會(huì)在碰撞的過(guò)程中獲得較高的能量,被激發(fā)至離核較遠(yuǎn)的高能級(jí)軌道上運(yùn)動(dòng)。

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